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多功能离子镀膜机
2013-01-09 10:43:32 作者:admin 来源: 浏览次数:0
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设备仪器名称:多功能离子镀膜机
资金来源:十五“211”
采购厂家:大连远东真空技术有限公司
采购时间:2005-11
主要技术参数:
    非平衡磁控建设源 5KW×2;
    中频磁控溅射源 5KW×2;
    磁滤阱电弧源 160A×2;
    离子源 3KW×2;
    脉冲偏压源 15KW×1;
    机械真空泵 2X-30A 3P 380V 3KW;
    扩散泵 KT-300 3P 380V 3KW
主要功能:
    非平衡磁控溅射
    中频磁控溅射
    电弧离子溅射
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